X射線(xiàn)荧光光谱仪（X-rayFluorescenceSpectrometer，简称：XRF光谱仪），是一种快速的、非破坏式的物(wù)质测量方法。X射線(xiàn)荧光（X-rayfluorescence，XRF）是用(yòng)高能(néng)量X射線(xiàn)或伽玛射線(xiàn)轰击材料时激发出的次级X射線(xiàn)。
XRF用(yòng)X光或其他(tā)激发源照射待分(fēn)析样品，样品中的元素内层電(diàn)子被击出后，造成核外電(diàn)子的跃迁，在被激发的電(diàn)子返回基态的时候，会放射出特征X光；不同的元素会放射出各自的特征X光，具有(yǒu)不同的能(néng)量或波長(cháng)特性。
不同元素发出的特征X射線(xiàn)荧光能(néng)量和波長(cháng)各不相同，因此通过对其的能(néng)量或者波長(cháng)的测量即可(kě)知道它是何种元素发出的，进行元素的定性分(fēn)析。射線(xiàn)强度与相应元素在样品中的含量有(yǒu)关，因此通过测试其强度实现元素的定量分(fēn)析。
检测器(Detector)接受这些X光，仪器软件系统将其转為(wèi)对应的信号。这一现象广泛用(yòng)于元素分(fēn)析和化學(xué)分(fēn)析，在某种程度上与原子吸收光谱仪实现互补。
