元素分(fēn)析技术会遇到必须纠正或补偿的干扰，以获得足够的分(fēn)析结果。
在XRF光谱测定中，主要干扰来自物(wù)质中可(kě)能(néng)影响（矩阵效应）感兴趣元素分(fēn)析的其他(tā)特定元素。然而，这些干扰是众所周知的并记录在案；并且系统软件中的仪器升级和数學(xué)校正可(kě)以轻松快速地纠正它们。
在某些情况下，样品的几何形状可(kě)影响XRF分(fēn)析，但是通过选择最佳采样面积，研磨或抛光样品或通过压制颗粒，可(kě)以很(hěn)容易地进行补偿。
定量元素分(fēn)析
XRF光谱法使用(yòng)经验方法（使用(yòng)与未知物(wù)质相似的标准品的校准曲線(xiàn)）或基本参数（FP）进行定量元素分(fēn)析。
FP是优选的，因為(wèi)它允许在没有(yǒu)标准或校准曲線(xiàn)的情况下执行元素分(fēn)析。这使得分(fēn)析人员可(kě)以立即使用(yòng)该系统，而无需花(huā)费额外的时间為(wèi)感兴趣的各种元素和材料设置单独的校准曲線(xiàn)。