来自X射線(xiàn)管的主要光子具有(yǒu)足够高的能(néng)量，从而将電(diàn)子从最里面的轨道中敲出，形成空位（1）。来自外轨道的電(diàn)子将移动到内轨道的新(xīn)空位，以恢复原子内的稳定性（2）。
原子 - 電(diàn)子 - 荧光特征四 - 由于外轨道的電(diàn)子进入内轨道，它以二次X射線(xiàn)光子的形式释放能(néng)量。这种能(néng)量释放被称為(wèi)荧光。所有(yǒu)元素产生荧光“特征”给自己。每个元素的荧光本身都是独一无二的。
结果可(kě)以以百分(fēn)比的形式或频谱来查看。 XRF将每秒(miǎo)处理(lǐ)（数字化，计数）约20万个或更多(duō)个X射線(xiàn)。 这些检测到的X射線(xiàn)形成光谱。 光谱中的每个峰值来自由特定元素如Cr或Ni等发射的特征x射線(xiàn)。
峰的高度与元素的浓度成比例。 峰值高度通过校准方法转换為(wèi)该元素的百分(fēn)比或ppm（基本参数或出厂或用(yòng)户派生的经验校准）