X荧光光谱仪是根据X射線(xiàn)荧光光谱的分(fēn)析方法配置的多(duō)通道X射線(xiàn)荧光光谱仪，它能(néng)够分(fēn)析固體(tǐ)或粉状样品中各种元素的成分(fēn)含量。
X射線(xiàn)荧光（XRF）能(néng)够测定周期表中多(duō)达83个元素所组成的各种形式和性质的导體(tǐ)或非导體(tǐ)固體(tǐ)材料，其中典型的样品有(yǒu)玻璃、塑料、金属、矿石、耐火材料、水泥和地质物(wù)料等。凡是能(néng)和x射線(xiàn)发生激烈作用(yòng)的样品都不能(néng)分(fēn)析，而且要分(fēn)析的样品必须是在真空（4~5pa）环境下才能(néng)测定。
X荧光光谱仪（XRF）由激发源（X射線(xiàn)管）和探测系统构成。X射線(xiàn)管通过产生入射X射線(xiàn)（一次X射線(xiàn)），来激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射線(xiàn)，并且不同的元素所放射出的二次X射線(xiàn)具有(yǒu)特定的能(néng)量特性或波長(cháng)特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射線(xiàn)的能(néng)量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。元素的原子受到高能(néng)辐射激发而引起内层電(diàn)子的跃迁，同时发射出具有(yǒu)一定特殊性波長(cháng)的X射線(xiàn)，因此,只要测出荧光X射線(xiàn)的波長(cháng)或者能(néng)量,就可(kě)以知道元素的种类，这就是荧光X射線(xiàn)定性分(fēn)析的基础。此外,荧光X射線(xiàn)的强度与相应元素的含量有(yǒu)一定的关系，据此，可(kě)以进行元素定量分(fēn)析。
近年来，X荧光光谱分(fēn)析在各行业应用(yòng)范围不断拓展，广泛应用(yòng)于冶金、地质、有(yǒu)色、建材、商(shāng)检、环保、卫生等各个领域，特别是在RoHS检测领域应用(yòng)得zui多(duō)也zui广泛，是一种中型、经济、高性能(néng)的波長(cháng)色散X射線(xiàn)光谱仪。
X荧光光谱仪具有(yǒu)以下优点：
a）分(fēn)析速度高。测定用(yòng)的时间与测定精密度有(yǒu)关，但一般都很(hěn)短，2～5分(fēn)钟就可(kě)以测完样品中的全部待测元素。
b）X射線(xiàn)荧光光谱跟样品的化學(xué)结合状态无关，而且跟固體(tǐ)、粉末、液體(tǐ)及晶质、非晶质等物(wù)质的状态也基本上没有(yǒu)关系。大多(duō)数分(fēn)析元素均可(kě)用(yòng)其进行分(fēn)析，可(kě)分(fēn)析固體(tǐ)、粉末、熔珠、液體(tǐ)等样品，分(fēn)析范围為(wèi)Be到U。（气體(tǐ)密封在容器内也可(kě)分(fēn)析）但是在高分(fēn)辨率的精密测定中却可(kě)看到有(yǒu)波長(cháng)变化等现象。特别是在超软X射線(xiàn)范围内，这种效应更為(wèi)显著。波長(cháng)变化用(yòng)于化學(xué)位的测定。
c）非破坏分(fēn)析。在测定中不会引起化學(xué)状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可(kě)反复多(duō)次测量，结果重现性好。
d）X射線(xiàn)荧光分(fēn)析是一种物(wù)理(lǐ)分(fēn)析方法，所以对在化學(xué)性质上属同一族的元素也能(néng)进行分(fēn)析。
e）分(fēn)析精密度高。
f）制样简单，固體(tǐ)、粉末、液體(tǐ)样品等都可(kě)以进行分(fēn)析。
当然，也有(yǒu)一些不足之处，具體(tǐ)如下：
a）难于作分(fēn)析，故定量分(fēn)析需要标样。
b）对轻元素的灵敏度要低一些。
c）容易受相互元素干扰和叠加峰影响。