石英(Quartz)是我们日常生活中非常常见的一种矿物(wù),成分(fēn)為(wèi)SiO2,SiO2的单晶體(tǐ)就是水晶,而多(duō)晶體(tǐ)则形成玉髓、玛瑙,我们平时看到的普通玻璃是不具备晶體(tǐ)结构的SiO2,海滩上的沙子基本上就是由石英和長(cháng)石组成。相信大家对石英也并不陌生,然而近几年,随着美國(guó)禁“芯”令的颁布以及石英股价的高涨,石英摇身一变,掀起了“高纯石英砂热”。什么是高纯石英呢(ne)?它与我们常见的石英有(yǒu)哪些區(qū)别?能(néng)用(yòng)于造芯片的沙子又(yòu)是什么样的呢(ne)?
什么是高纯石英?
高纯石英指SiO2纯度极高,杂质元素含量极低的石英及其产品,大量应用(yòng)于半导體(tǐ)、光伏、光纤、精密光學(xué)、高级照明设备、新(xīn)型玻璃等产业。但是,由于不同产业需要不同质量的石英,使得高纯石英没有(yǒu)普适性的质量评价指标。不同的人有(yǒu)不同的定义。早期的研究认為(wèi),高纯石英的杂质含量应小(xiǎo)于50×10-6,即SiO2纯度大于99.995%的石英為(wèi)高纯石英。挪威地质调查局则提出更详细的指标,要求不仅杂质总质量要小(xiǎo)于十万分(fēn)之五,而且Al的含量应小(xiǎo)于十万分(fēn)之三,Ti的含量应小(xiǎo)于十万分(fēn)之一,Na和K的含量应小(xiǎo)于百万分(fēn)之八,Li、Ca的含量应小(xiǎo)于百万分(fēn)之五,Fe的含量应小(xiǎo)于百万分(fēn)之三,P的含量应小(xiǎo)于百万分(fēn)之二,B的含量应小(xiǎo)于百万分(fēn)之一。2014年,Flook根据市场产业需求,提出新(xīn)的质量指标,认為(wèi)SiO2纯度在99.95%、总杂质含量小(xiǎo)于万分(fēn)之五的石英即為(wèi)高纯石英,纯度為(wèi)99.5%~99.8%的石英可(kě)满足半导體(tǐ)填料、光纤、液晶屏生产行业的要求,纯度小(xiǎo)于99.5%的石英可(kě)用(yòng)在透明玻璃行业。
我國(guó)汪灵學(xué)者认為(wèi),SiO2纯度大于99.9%的石英即為(wèi)高纯石英。近年来,新(xīn)兴起的光伏玻璃、超白浮法玻璃等新(xīn)型玻璃产业,降低了对SiO2的纯度要求。因此,综合不同的指标體(tǐ)系,在考虑原料矿石质量、测试手段、现有(yǒu)提纯工艺和行业质量要求的情况下,我國(guó)采用(yòng)的高纯石英的标准是:SiO2纯度大于99.9%的石英。
石英在自然结晶的过程中常会掺杂微量的杂质,主要為(wèi)晶體(tǐ)间隙的脉石矿物(wù)、包裹體(tǐ)、晶格杂质等。像我们平时常见的河砂、天然砂含有(yǒu)太多(duō)杂质,河砂的含硅量一般在65%~85%,硅含量太低,不能(néng)用(yòng)于生产芯片。杂质元素的种类和含量会对会石英性能(néng)造成影响,比如,Al的存在会影响石英中的光传导速率,Fe、Mn等金属元素降低石英的光透过率,P和B含量过高的石英不能(néng)用(yòng)于光伏产业,因此在生产高纯石英时,必须对原料矿石进行提纯,尽可(kě)能(néng)降低Al、K、Na、Li、Ca、Mg、Fe、Mn、Cu、Cr、Ni、B、P等杂质的含量。
拿(ná)超白玻璃与普通玻璃相比较来说,超白玻璃晶莹剔透,透光率高,具有(yǒu)极低的含铁量(Fe2O3质量分(fēn)数不超过150×10-6),仅是普通玻璃的1/10,甚至更低,当铁含量超标时,做出来的玻璃不仅透明度下降,制品还将呈现出黄绿色。并且超白玻璃更具安全性,其自爆率仅為(wèi)万分(fēn)之一左右,遠(yuǎn)比普通玻璃(自爆率為(wèi)千分(fēn)之三左右)低得多(duō),特别适用(yòng)于建造重要建筑和高层楼房中,如北京奥运会的“鸟巢”、“水立方”體(tǐ)育场馆、上海世博会的“中國(guó)馆”、以及北京國(guó)家大剧院、南京中國(guó)艺术中心等均有(yǒu)超白玻璃的身影。所以在杂质元素含量、硅含量要求方面,新(xīn)型玻璃产业、半导體(tǐ)产业都会要求更為(wèi)严格苛刻。
严格来说,高纯石英不是一种矿产,而是由水晶、脉石英、石英岩、花(huā)岗伟晶岩等矿石作為(wèi)原料经过提纯后的一种产品。这种高纯度的石英砂在自然界是不存在的,需要从石英矿中开采提纯后才能(néng)用(yòng)于半导體(tǐ)制造。因此,能(néng)够提纯生产高纯石英的矿床称為(wèi)高纯石英原料矿。制备高纯石英砂的最理(lǐ)想选择便是高纯度石英矿原料,石英或石英岩脉很(hěn)常见,但是高纯度石英矿,尤其是具备经济开采价值的高纯度石英矿却又(yòu)少之又(yòu)少。
而高纯石英砂是芯片制造不可(kě)或缺的原料,是硅产业高端产品的物(wù)质基础,而高纯石英原料矿极為(wèi)稀缺。我國(guó)硅质资源丰富,但是大部分(fēn)矿床為(wèi)普通硅石矿,用(yòng)于普通玻璃、石材、建筑用(yòng)砂等。同时,受矿石品质的限制,生产出来的产品主要為(wèi)低端高纯石英。对于高纯石英砂、原料矿石及高端石英制品每年都大量依赖进口。因此,对于全球高纯石英原料矿的分(fēn)布和开发现状,我们要有(yǒu)所了解。目前,高纯石英原料矿床主要分(fēn)布于美國(guó)、挪威、澳大利亚、俄罗斯、毛里塔尼亚、中國(guó)、加拿(ná)大等7个國(guó)家。除中國(guó)外,美國(guó)斯普鲁斯派恩(Spruce Pine)矿的高纯石英原料资源规模最大,超过1000万吨;资源量最小(xiǎo)的是挪威德拉格(Drag)矿,仅有(yǒu)26.7万吨(王九一,2021;表1)。